碳化硅陶瓷是一種具有多種優(yōu)良特性的材料，其用途廣泛，主要包括以下幾個方面： 1、半導(dǎo)體設(shè)備：在半導(dǎo)體制造中，碳化硅陶瓷用于外延生長設(shè)備、刻蝕設(shè)備、氧化/擴散/退火設(shè)備等關(guān)鍵部件，因其能適應(yīng)強腐蝕性和超高溫的環(huán)境。 2、國防軍工：除了防彈裝甲，碳化硅陶瓷還在其他軍事應(yīng)用中發(fā)揮重